MEMS: Forskelle mellem versioner

← Gå til forrige forskel Gå til næste forskel →

Content deleted Content added

Inline

Versionen fra 5. aug. 2005, 09:22

MEMS er en forkortelse for Micro Electro-Mechanical Systems eller på dansk Mikro Elektro-Mekaniske Systemer. Som navnet antyder er der tale om systemer med både en mekanisk og elektrisk funktion, og systemets dimensioner måles i mikrometer. Når der yderligere inkluderes optiske egenskaber taler man om MOEMS.

MEMS systemer kan ses som en udvidelse af almindelig mikroelektronik, der sidder i stort set alle moderne elektriske apparater. De elektriske kredsløb kendt fra mikroelektronik kombineres med mekaniske elementer som bjælker (eng. cantilevers), mikroskopiske tandhjul, spidser der virker som kanyler mm. Derkan desuden tilføjes optisk påvirkning eller aflæsning, typisk med lasere, der guides rundt i systemet i mikroskopiske bølgeledere efter samme princip som lysledere. Endelig kan man integrere mikroskopiske væskekanaler til håndtering af væsker (mikrofluid systemer), som f.eks. blod eller kemiske reagenser.

Et eksempel på en simpel (og allerede kommercialiseret) MEMS sensor er en airbag sensor til en bil. Denne sensor skal overvåge bilens acceleration og give et signal når airbag'en skal affyres. Den kan fremstilles ved anvendelse af silicium teknologi. Sensoren kan bestå af en mikrometer tynd bjælke med en lille prøvemasse på enden af bjælken. Når bilen accelererer bøjes bjælken, og dette registreres elektrisk ved hjælp af nogle små piezo-modstande, der er indlejret i bjælken. Piezo-modstande har den egenskab at de ændrer modstand når de strækkes.

MEMS tillægges et stort potentiale, især inden for de såkaldte Lab-on-a-Chip systemer (også kendt som Micro Total Analysis Systems), hvor målet er at miniaturisere en kemisk analyse på en mikrochip. Dette har den store fordel at der skal bruges langt mindre mængder prøvemateriale til analysen, at analysen kan udføres langt hurtigere, og at analysen kan udføres hos den praktiserende læge på en brug-og-smid-væk chip, uden ventetid.

Virksomheder og institutter i Danmark der arbejder med MEMS

Alight Technologies - design og fremstilling af laser strukturer
Capres - mikroskopiske 4-punkts prober til måling af overflademodstand
Danfoss - tryksensorer, mikrofluid systemer
Delta - udvikling og test af MEMS systemer på bestilling
Grundfos - tryksensor til fjernvarmepumper (er sat i produktion)
Hymite - packaging til MEMS produkter
Ibsen Photonics - fasemasker og gratings
Institut for Mikro- og Nanoteknologi (MIC) ved DTU
Sonion - mikrofoner
Sophion Bioscience - automatisk patch clamping tilmåling af ionkanalers funktion

@@ Linje 1: / Linje 1: @@
-'''MEMS''' er en forkortelse for '''Micro Electro Mechanical Systems''' eller på dansk '''Mikro Elektro Mekaniske Systemer'''. Som navnet antyder er der tale om et system med både en mekanisk og elektrisk funktion og systemets kritiske dimensioner er af størrelsesorden som en mikrometer. Som et eksempel kan nævnes en air-bag sensor til en bil.
+'''MEMS''' er en forkortelse for '''Micro Electro-Mechanical Systems''' eller på dansk '''Mikro Elektro-Mekaniske Systemer'''. Som navnet antyder er der tale om systemer med både en mekanisk og elektrisk funktion, og systemets dimensioner måles i [[mikrometer]]. Når der yderligere inkluderes optiske egenskaber taler man om '''MOEMS'''.
+MEMS systemer kan ses som en udvidelse af almindelig [[mikroelektronik]], der sidder i stort set alle moderne elektriske apparater. De elektriske kredsløb kendt fra mikroelektronik kombineres med mekaniske elementer som bjælker (eng. ''cantilevers''), mikroskopiske tandhjul, spidser der virker som kanyler mm. Derkan desuden tilføjes optisk påvirkning eller aflæsning, typisk med [[laser]]e, der guides rundt i systemet i mikroskopiske [[bølgeleder]]e efter samme princip som [[lysleder]]e. Endelig kan man integrere mikroskopiske væskekanaler til håndtering af væsker (''mikrofluid systemer''), som f.eks. blod eller kemiske reagenser.
-Denne sensor skal overvåge bilens acceleration og give et signal når air-bag'en skal affyres. Den kan fremstilles ved anvendelse af silicium teknologi. Sensoren kan bestå af en lille mikrometer tynd bjælke med en lille prøvemasse på enden af bjælken. Når bilen accelererer bøjes bjælken og dette registreres elektrisk ved hjælp af nogle små modstande der er indlejret i bjælken.
+Et eksempel på en simpel (og allerede kommercialiseret) MEMS sensor er en [[airbag]] sensor til en bil. Denne sensor skal overvåge bilens acceleration og give et signal når airbag'en skal affyres. Den kan fremstilles ved anvendelse af [[silicium teknologi]]. Sensoren kan bestå af en mikrometer tynd bjælke med en lille prøvemasse på enden af bjælken. Når bilen accelererer bøjes bjælken, og dette registreres elektrisk ved hjælp af nogle små piezo-modstande, der er indlejret i bjælken. Piezo-modstande har den egenskab at de ændrer modstand når de strækkes.
+MEMS tillægges et stort potentiale, især inden for de såkaldte [[Lab-on-a-Chip]] systemer (også kendt som ''[[Micro Total Analysis Systems]]''), hvor målet er at miniaturisere en kemisk analyse på en [[mikrochip]]. Dette har den store fordel at der skal bruges langt mindre mængder prøvemateriale til analysen, at analysen kan udføres langt hurtigere, og at analysen kan udføres hos den praktiserende læge på en brug-og-smid-væk chip, uden ventetid.
+== Virksomheder og institutter i Danmark der arbejder med MEMS ==
+* [[Alight Technologies]] - design og fremstilling af laser strukturer
+* [[Capres]] - mikroskopiske 4-punkts prober til måling af overflademodstand
+* [[Danfoss]] - tryksensorer, mikrofluid systemer
+* [[Delta (firma)|Delta]] - udvikling og test af MEMS systemer på bestilling
+* [[Grundfos]] - tryksensor til fjernvarmepumper (er sat i produktion)
+* [[Hymite]] - [[packaging]] til MEMS produkter
+* [[Ibsen Photonics]] - fasemasker og gratings
+* [[Institut for Mikro- og Nanoteknologi]] (MIC) ved [[DTU]]
+* [[Sonion]] - mikrofoner
+* [[Sophion Bioscience]] - automatisk [[patch clamping]] tilmåling af [[ionkanaler]]s funktion
 [[de:Mikrosystemtechnik]]